保有プロセスについて
ここでは、弊社が保有するプロセスをご紹介いたします。
プロセスとは
 セラミックコーティングの話では、プロセスという言葉がよく登場します。
 プロセスの本来の意味は、「物事の手順や進め方」ですが、セラミックコーティングの分野でプロセスというと、コーティングを行うための設備や原理という意味合いから、成膜に関する工程や成膜の条件、成膜中の調整等の意味合いまで広く含めて使われることがあります。
 セラミックコーティングは、表面処理の1つの形態であることはご存知だと思いますが、セラミックコーティングの処理方法をひとまとめにして「蒸着法」と呼びます。
 この蒸着法を、固体原料を蒸発・反応させてコーティングを行うPVD蒸着法と、気体原料を反応させてコーティングを行うCVD蒸着法とに分けて考えています。
 また、それぞれの蒸着法は、以下の図のように細かく分類されます。
蒸着法の分類

 弊社では、膜の信頼性と生産性を重視し、主に、プラズマCVD蒸着法と電子銃式PVD蒸着法、カソードアーク式PVD蒸着法を用いて成膜をしています。
 こういった蒸着法に対し、各社独自にノウハウをつぎ込み、 コーティング対象物の物性に影響を与えないようにしながら、より信頼性の高い膜を、より早く成膜できる装置や手法を開発しており、それが各社のプロセスとして確立されているのです。
弊社で保有する主なプロセス
以下は、弊社で保有する主なプロセスです。
PVD
 
アークイオンプレーティング式PVD法
プラズマCVD
 
高周波プラズマCVD法
PIG放電プラズマCVD法
高ガス圧HCD法