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DLCの定義
DLC : Diamond-Like Carbon
DLC(ディー・エル・シー) は、Diamond-Like Carbon(ダイヤモンド・ライク・カーボン)の略称で、ダイヤモンドとグラファイト(黒鉛)の両方の炭素-炭素結合を併せ持つ炭素を主成分とした物質で作られた薄膜の総称です。 ダイヤモンドとグラファイトの両方の結合をもつ構造をアモルファス構造(非晶質構造)と言い、ダイヤモンド結合をSP3(以下SP3と表記)、グラファイト結合をSP2(以下SP2と表記)と言います。
ダイヤモンドとDLCとグラファイトの構造比較
(図1)ダイヤモンドとDLCと黒鉛(グラファイト)の構造の比較
一般的にはDLCという言葉が膜そのものも含めて言い表します。
SP3とSP2を併せ持つ炭素(カーボン)の膜であることから、DLCは非晶質炭素膜(amorphous carbon thin films:アモルファスカーボンフィルム)の総称であると説明する場合もあります。
このSP3とSP2の比率や、結晶構造に組み込まれる水素の比率、あるいは他の金属元素の有無や比率によって、様々な物性(材料としての特徴)を持つ薄膜を作ることが可能です。