用途・応用事例

半導体ウェハーチャックへの適用　　ジニアスコートH,HT

半導体の製造工場では、クリーン度管理が生産性に大きな影響を及ぼします。クリーン度の悪化にはさまざまな要因がありますが、そのひとつにウェハーを固定、搬送するときのウェハーおよび相手部品・治具からの摩耗粉による発塵があります。

このウェハー固定、搬送部品、治具にDLCをコーティングすることにより、部品、治具からの摩耗はもちろんのことウェハーそのものも摩耗を起こしませんので、これらによる発塵が防止できます。さらに、導電性のあるDLCをコートすることによって、帯電防止の効果も得られます。

自動車部品への適用　　ジニアスコートHA,HT,HR

自動車部品へのDLC適用は古くから期待されていましたが、人命を預かる自動車への搭載は、その信頼性、安全性の点から高いハードルでした。

しかしながら、ジニアスコートHA、ジニアスコートHTの開発によって、膜の密着性が大幅に向上し、懸案の車載部品としての信頼性も確保できるようになり、すでに適用が開始されています。
特に車の場合は、油中、グリース中で使われる部品が多く、そのような環境下ではジニアスコートHT、ジニアスコートHAが適しています。 今後、燃費低減、快適性向上の要求は強く、ますます適用範囲が広がるものと予想され、DLC膜性能の一層の向上に取り組んでいます。

また、レース車においては、高速回転におけるオイルの循環不足から、しばしば部品の焼付きが生じます。ITFでは、このようなレース車仕様に対して、潤滑が充分でない環境下でも、低摩擦、焼付き防止に効果のあるジニアスコートHをベースにした特殊なDLCを提供しています。

産業機械部品への適用　　ジニアスコートH,HT,HR

工場の生産機として用いられる産業機械部品には、当然のことながら、高稼働率が求められます。稼働率を低下させる要因のひとつとしては、給油や部品交換のためのメンテナンスがあります。機械の主要部にDLCをコーティングすることにより、給油回数の低減、部品の長寿命化等の効果があります。また、油の量を必要最小限にとどめることが出来るため、製品の品質向上にも効果があります。

半導体のチップ部品を実装する自動機（チップマウンター：左図）のシャフトや工業用ミシンの針を上下運動させるシャフト等に適用されています。

湯水混合バルブへの適用　　ジニアスコートH,HT

家庭のキッチンや洗面所で使われるシングルハンドレバーの蛇口の中には、ハンドル操作にあわせて湯と水を適量・適温にするバルブが使われています。このバルブは、グリースを使わないで、水漏れ防止、軽い操作性、耐久性を維持することが課題で、このバルブ表面に、ジニアスコートHを使うことにより、これらの課題をすべて解決することが出来ました。

類似の部品として、水周りやガス周りのバルブ、シール材や、家庭用のエアコン等の摺動部材への適用も検討されています。

カメラへの適用　　ジニアスコートF

カメラズーム筐筒の各段にシールリングを挿入するのは、遮光性、防水性のためですが、シール材であるゴムの滑り性の悪さから、ズームレンズ出し入れの際のモータトルクが大きくなります。

ジニアスコートFは、柔軟性に富み、ゴムの変形に追従しながら、テフロン並みの摩擦係数を有するため、低いトルクでズームの出し入れが可能になり、結果、電池の寿命が長持ちします。

ジニアスコートFは、低摩擦のほか、耐摩耗性、固着防止に効果がありますので、自動車、エレクトロニクスさまざまな分野で、Ｏリング、シールバルブ、吸着パッド等の特性改善に効果を発揮します。

光学部品への適用　　ジニアスコートH,HP,HT

赤外線を利用する機器としては、赤外線カメラ、赤外線センサー、 CO2ﾚｰｻﾞｰ加工機などがあります。これらは素子の保護、集光など のため赤外線の経路にレンズやウインドウを配置しています。

ジニアスコートH,HP,HTは赤外光透過率に優れ、ビッカース硬度1000以上 の高硬度な被膜のため、レンズ・ウィンドウの反射防止・保護膜として 最適です。

Ge、Siなど屈折率の異なる基材に対して最適な膜種を選定いたします。